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从0到超400亿市值，全球清洗产品种类最齐全的半导体设备公司是怎样炼成的？
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进入21世纪，当时上海半导体产业代表团在访问硅谷，希望引进高端人才回国发展半导体产业。2005年，盛美半导体作为上海市科教兴市重大专项重点引进企业，落户在了上海。
当时国产单片清洗设备还是一片空白。
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
（以下简称盛美上海）
董事长王晖表示：
“正是这十多年来，
国家和上海市各级委办，
包括科技部、市科委等，
坚持不懈给予支持，
我们才渡过一个个坎走到今天。”
1?
20世纪90年代，10万美元创立“盛美美国”
1998年，IBM宣布推出世界上第一个基于铜互连的微处理器，标志着半导体制程工艺开始从铝互连进入铜互连时代。
王晖介绍：
“我凭借精密镀铜方面的知识，
发明了多阳极局部电镀铜技术，
找了10万美元天使投资在硅谷成立了ACM Research，
我们可以称它为‘盛美美国’。”
在上世纪90年代末，王晖前后完成了ABCD轮共计1400万美元融资。
“2001年，
我们研发出了无应力铜抛光技术。
但是，设备虽然解决了抛光环节的问题，其他环节却仍然跟不上。”
2?
回国攻关半导体产业领域空白
进入21世纪，当时上海半导体产业代表团在访问硅谷，希望引进高端人才回国发展半导体产业。2005年，盛美上海作为上海市科教兴市重大专项重点引进企业，落户在了上海。
王晖说：“来到上海后，
我们选择了清洗设备做切入点，
当时国产单片清洗设备还是一片空白。”
3?
三年后开发了全球首创的第一代
单片兆声波清洗技术SAPS
第一代SAPS单片兆声波清洗技术
SAPS技术是当时国外大公司没有的方案，因此受到了海力士的青睐。
开发成功的第二年，成为第一台进入海力士的中国半导体设备。
盛美上海的两台清洗设备先后进了海力士无锡厂和韩国利川厂。
SK海力士芯片生产商
第二代TEBO
单片兆声波清洗技术
全球首创
单片+槽式
组合清洗技术Tahoe
2015年，盛美上海团队开发出第二代兆声波清洗技术TEBO。
2018年，盛美上海又开发出高温硫酸清洗技术Tahoe。
王晖介绍，目前盛美上海集成电路湿法清洗设备产品线，覆盖80%以上清洗工艺步骤。预计今年会覆盖90%以上清洗工艺步骤，将成为全球范围内清洗产品种类最齐全的半导体设备公司。
4?
政策的支持是至关重要的
“半导体是一个长周期、高投入的产业。
盛美虽然前期有上海科创投、张江科投和浦东科投的8000万资金投入，
但对这个行业来说远远不够。”
王晖深有感触。
王晖表示，在发展过程中，政策支持，特别是上海市科教兴市项目、中国创新创业大赛对盛美的持续创新起到至关重要的支撑作用。
在做企业的过程中，盛美上海始终坚持技术差异化竞争的策略，各项技术都在全球进行了专利布局。多年来，盛美上海申请了960项以上发明专利，授权专利超过400项，也获得了上海专利示范企业的荣誉。
5?
力争跻身综合性国际
集成电路装备企业第一梯队
盛美美国
在纳斯达克交易所上市
盛美上海登陆科创版
2017年，盛美美国在纳斯达克交易所上市，是国内第一家在美国上市的设备企业。
2021年11月，盛美上海登陆科创版。
“到现在，国内国产清洗设备市场上，盛美占80%左右市场份额，我们是目前市场份额最大、产品最全的清洗设备龙头企业。”王晖说。
目前，除了已有的长江存储、华虹集团、海力士、中芯国际、长鑫存储、长电科技、通富微电、中芯长电、Nepes、金瑞泓、台湾合晶科技、中科院微电子所、上海集成电路研发中心、华进半导体、士兰微、芯恩半导体、晶合、中科智芯、芯德等主要客户的重复订单之外，2021年盛美上海新增了五家大陆地区以外的知名客户。
王晖表示：
“未来，我们会继续向技术差异化、客户全球化和产品平台化的方向迈进。
只有真正和全球半导体融合在一起，
实现互惠共赢，
中国集成电路制造才能
走远、走长、走强。
这也是盛美一直在做，
并且会继续做下去的事情。”
